半導体洗浄装置に組み込み可能な超小型 水素水製造ユニット
特徴
高い微粒子洗浄効果を発揮（SC-I洗浄と同等以上の洗浄効果）※
環境にやさしいエコな洗浄。（省薬品 アンモニア濃度1ppm）※
半導体洗浄装置内蔵や直近設置が可能な超小型設計。
余剰水素の出ない安全設計。（室温洗浄）
ユニット内で水素ガスを製造。ユニット外から水素ガス配管引き回しが不要。
CEマーキング/SEMI対応。
タッチパネルで遠隔／手元操作、日本語／英語を切り替え。
※アンモニア添加時の効果を含む
用途
電機・精密機器など。微粒子除去/表面酸化防止、超音波洗浄効果UP/微細パターン倒壊防止
スペック
＊ 大流量装置もラインアップしております。
＊ 100V仕様への変更も可能です