酸還王 H-300

半導体洗浄装置に組み込み可能な超小型 水素水製造ユニット

特徴

  • 高い微粒子洗浄効果を発揮(SC-I洗浄と同等以上の洗浄効果)※

  • 環境にやさしいエコな洗浄。(省薬品 アンモニア濃度1ppm)※

  • 半導体洗浄装置内蔵や直近設置が可能な超小型設計。

  • 余剰水素の出ない安全設計。(室温洗浄)

  • ユニット内で水素ガスを製造。ユニット外から水素ガス配管引き回しが不要。

  • CEマーキング/SEMI対応。

  • タッチパネルで遠隔/手元操作、日本語/英語を切り替え。

  • ※アンモニア添加時の効果を含む


用途

電機・精密機器など。微粒子除去/表面酸化防止、超音波洗浄効果UP/微細パターン倒壊防止


スペック

* 大流量装置もラインアップしております。

* 100V仕様への変更も可能です